產品列表PRODUCTS LIST
在當(dang)今連接(jie)日(ri)益緊密(mi)的世(shi)界中，對(dui)超出常規電(dian)子產(chan)品的新型微米和納米級(ji)設(she)備(bei)的需求不斷增長。這些器件通過IC制(zhi)造工具制(zhi)造時(shi)(shi)往往需采用非(fei)標準(zhun)工藝， 而依賴于微米和納米制(zhi)造技(ji)術設(she)備(bei)的生產(chan)非(fei)常昂貴且耗(hao)時(shi)(shi)。
在過去的幾年中，Inchfab一直致力于開(kai)發超低成本(ben)微(wei)細加工(gong)和納米加工(gong)設(she)備的完整平臺，更經(jing)濟(ji)地生產電子(zi)、機械、化學和生物設(she)備。Inchfab將先進(jin)的處理能(neng)力與大(da)尺寸的基板(ban)分離(li)，Inchfab已經(jing)證(zheng)明(ming)，使用(yong)較小(xiao)的基板(ban)也可以提(ti)高性能(neng)，并優(you)于大(da)尺寸基板(ban)。
遇(yu)到的(de)問(wen)題
INCHFBA
在(zai)基板(ban)制造過(guo)程中，所需(xu)的(de)薄膜(mo)材料需(xu)用化(hua)學(xue)氣相淀積(ji)(ji)來(lai)制備。化(hua)學(xue)氣相淀積(ji)(ji)是把各成分元素以及摻雜劑都以氣體形式導入(ru)反(fan)應爐(lu)，在(zai)晶圓(yuan)表面發(fa)生(sheng)化(hua)學(xue)反(fan)應，從而生(sheng)成所需(xu)的(de)固態薄膜(mo)并淀積(ji)(ji)在(zai)其(qi)表面。
在化(hua)學(xue)氣相沉積中，真空是必須的，因為在有大氣氣體存在的情(qing)況下，化(hua)學(xue)反應(ying)是不(bu)起(qi)作用的。
研(yan)發意味著測試，允許(xu)障(zhang)礙(ai)和反應性氣體(ti)(ti)的(de)(de)新(xin)配方，可能多次改(gai)變流(liu)量(liang)比和氣體(ti)(ti)，且所有(you)的(de)(de)必須同時(shi)保持準(zhun)確，氣體(ti)(ti)流(liu)量(liang)控(kong)制的(de)(de)準(zhun)確性不言而(er)喻。
解決(jue)方案
ALICAT
Alicat為(wei)幫助Inchfab克服這(zhe)一挑戰提(ti)供了(le)的(de)準確性(xing)、響應能力和控制氣體流(liu)量需(xu)求。Alicat半導體壓力控制器(qi)和MFC系(xi)列質量流(liu)量控制器(qi)為(wei)Inchfab提(ti)供了(le)一個性(xing)能、可靠性(xing)和價格之間無需(xu)折(zhe)衷的(de)解決方(fang)案，這(zhe)使(shi)其成為(wei)Inchfab系(xi)統的(de)選擇。
Alicat半導體(ti)MCE系(xi)列真空氣體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控(kong)制器(qi)(qi)采用了層流(liu)差(cha)壓(ya)(DP)技(ji)術，可同(tong)時(shi)測量(liang)(liang)98種氣體(ti)的質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)、體(ti)積(ji)流(liu)量(liang)(liang)、壓(ya)力(li)和溫度，并進行(xing)全溫度和壓(ya)力(li)補償。MCE系(xi)列控(kong)制器(qi)(qi)低(di)至0-0.5sccm、高(gao)(gao)至0-20 slpm、控(kong)制響(xiang)應(ying)時(shi)間(jian)為50-100毫秒(miao)。Alicat質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控(kong)制器(qi)(qi)以驚人的準(zhun)確度和響(xiang)應(ying)時(shi)間(jian)大大提高(gao)(gao)實驗(yan)質(zhi)量(liang)(liang)。
Inchfab 化學氣相淀積系統中使用Alicat控制器的流程圖
Alicat很高(gao)興能成為這個(ge)重(zhong)要(yao)的(de)挑戰的(de)一部(bu)分，Alicat的(de)質量(liang)流量(liang)控制器(qi)適應(ying)性使得化學氣相沉(chen)積越來越好，助(zhu)推許多未實(shi)現的(de)技術早(zao)日實(shi)現。
想(xiang)獲(huo)得與(yu)Inchfab一樣可靠的質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計和控制器(qi)，請即(ji)刻與(yu)我(wo)們聯(lian)系(xi)吧(ba)！
