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引言: 前面(mian)發過有(you)關真空壓力(li)控制器應用的文章，收(shou)到不少小(xiao)伙伴后臺留言咨詢，此篇文章我(wo)們(men)將帶領大家(jia)了解更多它(ta)的相關參數。
艾(ai)里卡特Conductor系列真(zhen)空壓力(li)控(kong)制器旨在(zai)快(kuai)速控(kong)制抽真(zhen)空過(guo)程的(de)壓力(li)，支持內(nei)置真(zhen)空傳感(gan)器或外接真(zhen)空計，具(ju)有較寬的(de)真(zhen)空壓力(li)測(ce)量/控(kong)制范圍(0.01 Torr至1000Torr)。
Conductor系(xi)列控制器集成了多種電(dian)容(rong)膜片真空(kong)計(CDG)用于測量(liang)系(xi)統(tong)的壓力。通(tong)過調(diao)節被(bei)抽出真空(kong)系(xi)統(tong)的氣(qi)(qi)流量(liang)與進入系(xi)統(tong)的氣(qi)(qi)流量(liang)達(da)到平衡，從而調(diao)節系(xi)統(tong)真空(kong)度。
上游控制的計算示例：
真空泵的抽速：每秒2升
維持腔體壓力：10 TorrA
所需流量：實際壓力÷標況壓力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM
使(shi)用艾里卡(ka)特真空控制(zhi)器在單獨(du)氣體(ti)供應裝(zhuang)置的上(shang)游進(jin)行壓力控制(zhi)時，您無需(xu)擴大流量，只需(xu)使(shi)用較小的控制(zhi)閥，即可提高控制(zhi)性(xing)能并減少泄漏。
即使面對快速變化的(de)過程(cheng)工況(kuang)(例(li)如流量或溫度的(de)波動(dong))，艾里卡特Conductor系列(lie)真(zhen)空壓(ya)力控(kong)制(zhi)器也能迅速控(kong)制(zhi)并保(bao)持壓(ya)力穩定在設定值。
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快速響應
快速響應的(de)閥門和(he)特殊(shu)的(de)PID控(kong)制(zhi)算法構成(cheng)了1毫秒的(de)控(kong)制(zhi)回路。
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控制J準
j度可溯源至NIST
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通訊連接
通過以下方式輕松與您的(de)工業網絡協議集成：
· Alicat*的多點RS-232串口通(tong)訊
· RS-485串口
· Modbus RTU(基(ji)于RS-232或RS-485)
· Modbus TCP/IP
· DeviceNet
· EtherCAT
· EtherNet/IP
· Profibus
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背壓控制
后置閥(fa)選項可(ke)以讓您的(de)(de)Conductor控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)過程(cheng)腔體和真空泵(beng)之間的(de)(de)流量。將控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器安裝(zhuang)在過程(cheng)腔體和真空泵(beng)之間，用(yong)于限制(zhi)(zhi)真空泵(beng)的(de)(de)抽氣流量，從而(er)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)腔體的(de)(de)壓力上升或(huo)下(xia)降(jiang)或(huo)維(wei)持(chi)穩(wen)定。如果你無法在系(xi)統上游安裝(zhuang)壓力控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器，但(dan)又想(xiang)j確控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)系(xi)統壓力，就(jiu)可(ke)以使用(yong)后置閥(fa)門的(de)(de)背壓控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器。
概況
壓力量程
- 絕壓量程(以高真空(kong)為基準)
- 10、100和1000 TorrA單傳感(gan)器模塊
- 1000＆10 TorrA雙傳感器模塊
性能
- 量程比 ≅ 1000：1
- 常(chang)規j度校(xiao)準，可溯(su)源NIST：+/- 0.5％滿量程(零點漂移可通過真空(kong)去皮調整)
- 典型控(kong)制(zhi)響應(ying)時間：≥50ms(可調)
- 傳感器響應時間：2毫秒
- 顯示(shi)響(xiang)應時間：<10毫秒
- 傳感器預(yu)(yu)熱時間：*的預(yu)(yu)熱時間-2小時
· 適(shi)用于大部分(fen)用途(tu)的-15分(fen)鐘
運行條件
- 氣(qi)體兼容(rong)性：與多種氣(qi)體兼容(rong)，包(bao)括大(da)部分具有(you)腐蝕性的氣(qi)體
· 關(guan)于腐蝕性氣(qi)體可參閱(yue)Alicat氣(qi)體清單，查看(kan)接液(ye)材(cai)料的兼容性。此真空(kong)壓力控(kong)制器不(bu)適用于液(ye)態水(shui)
- 接液材料(liao)：302、303、304和430FR不銹鋼、黃銅、FKM和FFKM、氧化鋁、可選(xuan)316L不銹鋼主體
- 工作溫度：+10至+ 50°C
- 傳感器損壞壓力：6 kTorrG(116 PSIG)
工藝連接件
- Compression
- SAE
- 偉洛克®(包括管(guan)，VCO®和VCR®)
電氣接頭
- 6針(zhen)鎖緊型工業接頭
- 標準8針mini-DIN接頭(tou)
- 8針(zhen)螺紋型M12接頭
- 9針引(yin)腳(jiao)
- 15針引腳
如果我們內置(zhi)的(de)CDG真空(kong)傳(chuan)感器無(wu)法(fa)滿足你的(de)量程或性能(neng)(neng)的(de)需求，或您想使用自己(ji)的(de)真空(kong)傳(chuan)感器，請(qing)與Alicat 中國代表處聯系以獲得(de)協(xie)助，以確保您的(de)控制器能(neng)(neng)夠快速穩定的(de)運行。
Conductor
用于真(zhen)空控(kong)制的(de)快速響(xiang)應絕壓控(kong)制器
